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海内十大晶圆厂设备招标结果解析：上� 88优德官网设备国产化率最高！
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芯智讯
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2022-05-14
5月12日消息 ，据招标平台信息显示 ，5月10日 ，上� 88优德官网半导体多项设备中标结果宣布。
结果显示 ，北方华创、拓�？萍肌⑿驹次ⅰ⑺孤螅ˋSML）等乐成中标上� 88优德官网特色工艺生产线项目33台设备。
其中 ，北方华创中标10台设备 ，包括合金化工艺低压立式炉管、缓冲层氧化膜炉管、铝刻蚀机、铝金属物理气相沉积机、铝铜金属溅射设备等 ；拓�？萍贾斜�3台二氧化硅等离子薄膜沉积设备、8台二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等离子薄膜沉积设备 ；芯源微中标1台聚合物涂胶显影机 ；阿斯麦（ASML）中标2台i-line光刻机、1台KrF光刻机。
以此盘算 ，北方华创、拓�？萍肌⑿驹次⑷液霞浦斜炅空急仍�67% ，国产设备比重较大。
那么 ，从今年1-4月海内主要晶圆厂关于半导体设备采购的中标情况来看 ，国产半导体设备的占比又有多高呢？
海内十大晶圆厂今年1-4月设备采购累计开标401台
由于半导体设备应用的工艺流程和重要性的差别 ，我们主要统计光刻、刻蚀、沉积、清洗等涉及焦点工艺的要害设备中标情况 ，并将要害半导体设备区分为制程焦点设备（包括光刻、刻蚀、沉积、离子注入设备）、良率提升设备（包括前道检测设备、后道测试设备、清洗设备）以及重要辅助设备（包括炉管设备、CMP 抛光设备、干法去胶设备、涂胶显影设备） ，并排除二手翻新设备影响。
通过对长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上� 88优德官网、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯 10 家中国大陆主要的 IDM 或晶圆代工企业为统计样本 ，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理。2022 年 4 月海内 10 家主流晶圆厂共开标 108台工艺设备 ，前四个月合计开标 401 台工艺设备。
2022 年 4 月开标的 108 台设备主要来自上� 88优德官网（78 台）、华虹无锡（20 台）、福建晋华（5 台）、时代电气（3 台）、华力微电子（1 台）、华力集成（1 台） ，上� 88优德官网及华虹无锡扩产孝敬主要增量。
2022 年 1- 4 月开标的 401 台设备主要来自华虹无锡（268 台）、上� 88优德官网（104 台）、时代电气（14 台）、福建晋华（12 台）、华力集成（2 台）、华力微电子（1 台） ，华虹无锡及上� 88优德官网孝敬主要增量。
1-4月采购设备以炉管、刻蚀、沉积设备为主
晶圆厂设备结构往往以光刻机为焦点 ，围绕以多台刻蚀、薄膜沉积、清洗等设备 ，由于差别招标批次对应设备采购种类差别 ，因此差别时期工艺设备招标种类也会有所差别。
2022 年 4 月开标的 108 台设备中 ，凭据差别工艺设备开标数量从高到低排列 ，划分为炉管设备（30 台）、刻蚀设备（29 台）、前道检测设备（10 台）、清洗设备（10 台）、干法去胶设备（9 台）、沉积设备（8 台）、离子注入机（4 台）、涂胶显影设备（4台）、后道测试设备（2 台）、光刻机（1 台）、抛光设备（1 台）。炉管、刻蚀设备孝敬 2022 年 4 月主要扩产增量。
2022 年 1-4 月开标的 401 台设备中 ，凭据差别工艺设备开标数量从高到低排列 ，划分为炉管设备（112台）、刻蚀设备（61 台）、沉积设备（61 台）、前道检测设备（48 台）、后道测试设备（35 台）、离子注入机（18 台）、清洗设备（17 台）、抛光设备（15 台）、涂胶显影设备（14 台）、干法去胶设备（14 台）、光刻机（6 台）。总的来看 ，炉管、刻蚀、沉积设备孝敬 2022 年 1-4 月主要扩产增量。
1-4月设备采购中标国产率24.2%
我们以设备中标台数盘算国产率（包括拥有翻新业务的厂家） ，由于差别设备价值量差别 ，因此与实际市场规模测算的国产率有一定差别。且考虑差别晶圆厂、差别工艺设备的招标批次差别 ，中国大陆厂家中标频次漫衍未必平均 ，造成国产率有一定波动。
从年度数据来看 ，2021年设备国产率达 27.4% ，较 2020 年 16.8%有明显提升。2022 年 4 月主流晶圆厂开标的 108 台设备中 ，源自中国大陆厂家制造的设备共计 67 台 ，占比达 62% ；2022 年 1-4 月开标的 401 台设备中 ，源自中国大陆厂家制造的设备共计 97 台 ，占比达 24.2%。虽然较2021年有所降低 ，但这可能是由于海内厂商采购节奏有关 ，预计全年的设备国产率仍将有望凌驾2021年。
上� 88优德官网1-4 月设备采购中标国产率达42.3%
2022 年 1-4 月开标的 401 台设备主要来自华虹无锡（268 台）、上� 88优德官网（104 台）、时代电气（14 台）、福建晋华（12 台）、华力集成（2 台）、华力微电子（1 台）。国产设备中标数较多的晶圆厂为上� 88优德官网（44 台）、华虹无锡（40 台）、时代电气（8 台）、福建晋华（5 台）。其中上� 88优德官网国产率达42.3%% ，华虹无锡开标设备中外洋设备占比相对较高 ，国产率约为 14.9%。
回首2020及2021年度各晶圆厂设备采购中标国产率 ，上� 88优德官网的设备采购国产化率也是位居第一 ，划分抵达了75.9%和35.4%。如果将上� 88优德官网2020年、2021年、2022年1-4月及截至目前的5月（67%）的设备采购国产化率占比平均来看 ，其设备采购国产化率仍高达55%以上。
1-4月干法去胶、刻蚀、清洗、离子注入设备采购中标国产率较高
近年来受益于北方华创、中微公司、盛美半导体、芯源微、屹唐半导体、至纯科技、华海清科等中国大陆厂家的不绝生长 ，在刻蚀、沉积、清洗、抛光、干法去胶、炉管、涂胶显影等领域半导体设备中标国产率较高。
2022年1-4月 ，凭据国产设备中标数量从高到低排序 ，差别工艺设备海内厂家中标情况如下：刻蚀设备（31 台）、炉管设备（22 台）、干法去胶设备（10 台）、清洗设备（7 台）、离子注入机（7 台）、沉积设备（6 台）、后道测试设备（4 台）、前道检测设备（3 台）、涂胶显影设备（3 台）。
其中国产率较高的环节主要为干法去胶设备（国产率 71%）、刻蚀设备（50.8%）、清洗设备（41.2%）、离子注入机（38.9%）、抛光设备（26.7%）、涂胶显影设备（21.4%）。
回首2020及2021年度种种设备采购中标国产率情况 ，干法去胶（47.4%和45.0%）、CMP抛光（36.4%和41.7%）、清洗（32.0%和34.7%）、刻蚀（32.5%和24.4%）、炉管设备（22.7%和23.9%）的国产率相对较高。
北方华创等国产设备厂商受益
按设国产备厂商中标情况来看 ，2022 年 4 月份中标较多的中国大陆厂家为北方华创、中微公司、芯源微、屹唐、上海精测、盛美上海等（暂时不剖析含有翻新业务的中国大陆厂家）。
北方华创合计中标 33 台：中标上� 88优德官网 33 台设备 ，其中炉管设备 21台 ，刻蚀设备 12 台。
中微公司合计中标 13 台：中标华虹无锡 12 台刻蚀设备 ，中标时代电气1 台刻蚀设备。
屹唐半导体合计中标 10 台：中标华虹无锡 8 台设备 ，其中 7 台干法去胶机 ，1 台热退火设备 ，中标上� 88优德官网 2 台灰化机。
芯源微合计中标 7 台：中标上� 88优德官网 6 台设备 ，其中刷片机 5 台 ，涂胶显影机 1 台 ，中标福建晋华 1 台涂胶显影机。
上海精测合计中标 1 台：中标福建晋华 1 台电子显微镜。
盛美上海合计中标 1 台：中标福建晋华 1 台湿法清洗设备。
另外 ，凭据中国国际招标网数据 ，今年1-3月国产设备厂商中标结果显示：北方华创13台 ，包括薄膜/干法刻蚀/炉管 ；盛美上海9台 ，包括湿薄膜/湿法/后道封装 ；拓�？萍�3台 ，均为薄膜设备 ；华海清科3台 ，均为CMP设备 ；芯源微2台 ，均为涂胶显影设备 ；上海微电子2台 ，为炉管设备 ；至纯1台 ，为湿法清洗设备 ；中科信1台 ，为离子注入设备 ；吉姆西（二手设备厂商）3台 ，为CMP及检测/量测设备。
来源：中国国际招标网、德邦研究所、民生证券 芯智讯
